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天才在左3

新虫 (初入文坛)

[交流] 想要在GeSn薄膜中使用射频磁控溅射掺杂硼 已有1人参与

想要在GeSn薄膜中使用射频磁控溅射掺杂硼,使其成为P型半导体,想问下大家有没有参数可以参考,如功率,气压,温度,时间

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091820053

禁虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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2楼2019-12-09 17:28:52
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天才在左3

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 091820053 at 2019-12-09 17:28:52
直接用掺杂硼的靶

就是用的B靶,现在在试一个参数,就是不知道有没有什么简单的方法可以确定有没有掺杂成功

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3楼2019-12-10 17:30:29
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