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想要在GeSn薄膜中使用射频磁控溅射掺杂硼 已有1人参与
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想要在GeSn薄膜中使用射频磁控溅射掺杂硼,使其成为P型半导体,想问下大家有没有参数可以参考,如功率,气压,温度,时间 发自小木虫Android客户端 |
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