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求助:请问磁控溅射制备LiPON薄膜为什么呈现深蓝色? 已有1人参与
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刚开始用磁控溅射方法制备LiPON薄膜,制成的薄膜总是呈现深蓝色,而且里面有小团簇,找不要原因。请各位有经验的虫友指点。非常感谢! |
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