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求助：请问磁控溅射制备LiPON薄膜为什么呈现深蓝色？ 已有1人参与
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刚开始用磁控溅射方法制备LiPON薄膜，制成的薄膜总是呈现深蓝色，而且里面有小团簇，找不要原因。请各位有经验的虫友指点。非常感谢! |
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