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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助：请问磁控溅射制备LiPON薄膜为什么呈现深蓝色？
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hongleewang

铜虫 (正式写手)

[求助] 求助：请问磁控溅射制备LiPON薄膜为什么呈现深蓝色？ 已有1人参与

刚开始用磁控溅射方法制备LiPON薄膜，制成的薄膜总是呈现深蓝色，而且里面有小团簇，找不要原因。请各位有经验的虫友指点。非常感谢!
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1楼 2019-11-14 11:02:13
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091820053

禁虫 (知名作家)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
2楼2019-11-14 14:33:01
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hongleewang

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 091820053 at 2019-11-14 14:33:01
薄膜的厚度是多少呢？ 膜层厚度不同颜色不一样的

很薄，大概100nm，同一炉样品，有的是透明的，有的就是深蓝色且有团簇。

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3楼2019-11-14 16:25:16
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
4楼2019-11-15 16:36:25
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hongleewang

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 091820053 at 2019-11-15 16:36:25
团簇可能是形成富集了， 厚了；...

请问为什么会产生富集呢？

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5楼2019-11-15 20:10:28
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
6楼2019-11-19 16:14:25
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