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laibaoning铜虫 (小有名气)
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电极打线黏附性不强什么原因已有4人参与
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| 我是GaAs的片子,用HSQ平坦化后长了100nm氧化硅再度的电极(电子束蒸镀10nmTi,300nmAu),打线时针扎下去起来时候会把金带起来一块,应该是黏附性不好吧?是电极底下平坦化材料问题还是镀金的问题? |
bobo201266
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2楼2019-10-24 20:33:06
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3楼2019-10-26 16:07:46
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4楼2019-10-26 16:08:14
zuopeng142
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5楼2019-11-11 22:48:27
laibaoning
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6楼2019-11-27 15:04:20
laibaoning
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7楼2019-11-27 16:45:23
zuopeng142
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增强平坦化层和SiO2的粘附性,可以对平坦化层表面活化,或者换成PI膜,或者试试ICP—CVD以及ALD长SiO2,应该都会有改善 发自小木虫Android客户端 |
8楼2019-11-30 11:03:14
9楼2020-04-11 20:13:48













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