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laibaoning

铜虫 (小有名气)

[交流] 电极打线黏附性不强什么原因已有4人参与

我是GaAs的片子,用HSQ平坦化后长了100nm氧化硅再度的电极(电子束蒸镀10nmTi,300nmAu),打线时针扎下去起来时候会把金带起来一块,应该是黏附性不好吧?是电极底下平坦化材料问题还是镀金的问题?
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bobo201266

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不好说,打个能谱看看

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2楼2019-10-24 20:33:06
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13823359210

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
可以用磁控溅射来做,我们可以

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3楼2019-10-26 16:07:46
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13823359210

新虫 (小有名气)

4楼2019-10-26 16:08:14
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zuopeng142

铁虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
laibaoning: 回帖置顶 2019-11-27 16:46:00
感觉应该是你SiO2的问题,你这里SiO2生长应该是低温长的,质量不好,本身和HSQ的粘附性就不会太好,长上Ti/Au后,Au被带起,有没有发现SiO2也缺失了?
5楼2019-11-11 22:48:27
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laibaoning

铜虫 (小有名气)

谢谢,好像是的
6楼2019-11-27 15:04:20
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laibaoning

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by zuopeng142 at 2019-11-11 22:48:27
感觉应该是你SiO2的问题,你这里SiO2生长应该是低温长的,质量不好,本身和HSQ的粘附性就不会太好,长上Ti/Au后,Au被带起,有没有发现SiO2也缺失了?

是的,300度PECVD生长的氧化硅,请问有什么办法能稍微好点呢?氧化硅长厚点?我们这个工艺已经是最成熟的了
7楼2019-11-27 16:45:23
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zuopeng142

铁虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by laibaoning at 2019-11-27 16:45:23
是的,300度PECVD生长的氧化硅,请问有什么办法能稍微好点呢?氧化硅长厚点?我们这个工艺已经是最成熟的了...

增强平坦化层和SiO2的粘附性,可以对平坦化层表面活化,或者换成PI膜,或者试试ICP—CVD以及ALD长SiO2,应该都会有改善

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8楼2019-11-30 11:03:14
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MrVanny

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
金属的功函数和材料的亲和能呢?

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9楼2020-04-11 20:13:48
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