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laibaoning

铜虫 (小有名气)

[交流] 电极打线黏附性不强什么原因已有4人参与

我是GaAs的片子,用HSQ平坦化后长了100nm氧化硅再度的电极(电子束蒸镀10nmTi,300nmAu),打线时针扎下去起来时候会把金带起来一块,应该是黏附性不好吧?是电极底下平坦化材料问题还是镀金的问题?
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laibaoning

铜虫 (小有名气)

谢谢,好像是的
6楼2019-11-27 15:04:20
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laibaoning

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by zuopeng142 at 2019-11-11 22:48:27
感觉应该是你SiO2的问题,你这里SiO2生长应该是低温长的,质量不好,本身和HSQ的粘附性就不会太好,长上Ti/Au后,Au被带起,有没有发现SiO2也缺失了?

是的,300度PECVD生长的氧化硅,请问有什么办法能稍微好点呢?氧化硅长厚点?我们这个工艺已经是最成熟的了
7楼2019-11-27 16:45:23
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