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laibaoning铜虫 (小有名气)
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[交流]
电极打线黏附性不强什么原因 已有4人参与
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| 我是GaAs的片子，用HSQ平坦化后长了100nm氧化硅再度的电极（电子束蒸镀10nmTi，300nmAu），打线时针扎下去起来时候会把金带起来一块，应该是黏附性不好吧？是电极底下平坦化材料问题还是镀金的问题？ |
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5楼2019-11-11 22:48:27
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增强平坦化层和SiO2的粘附性，可以对平坦化层表面活化，或者换成PI膜，或者试试ICP—CVD以及ALD长SiO2，应该都会有改善 发自小木虫Android客户端 |
8楼2019-11-30 11:03:14
9楼2020-04-11 20:13:48
30