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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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limin800111

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】该在Si片哪面镀导电的Cu膜?

我想利用Autolab电化学工作站在Si片“正面”镀Co

我有个问题想请问大家:
   在镀Co之前,首先要在Si片的一面磁控溅射一层Cu膜增加其导电性。这层Cu膜是在Si片的“正面”哪,还是在Si片的“反面”?

非常感谢!
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limin800111

金虫 (小有名气)

磁控溅射上Cu膜之后,用恒电流方式电沉积Co,如果电流密度绝对值太大,Cu膜脱落;太小电沉积的Co颜色不均匀(肉眼可见,不知道Co沉积上了没有,呵呵)

另外,考虑Cu膜的存在对Co膜可能不好,因此考虑在反面制备Cu膜增加导电,在正面电沉积Co

用的是Autolab,感觉还行

[ Last edited by limin800111 on 2009-6-8 at 16:45 ]
10楼2009-06-08 16:44:29
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syj08448

银虫 (初入文坛)

★ ★ ★
limin800111(金币+2,VIP+0):非常感谢! 6-8 12:48
limin800111(金币+1,VIP+0):谢谢! 6-8 19:32
当然Cu要预先沉积在你需要沉积Co的一面。很多非金属电镀都是如此。
3楼2009-06-08 12:43:27
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limin800111

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by syj08448 at 2009-6-8 12:43:
当然Cu要预先沉积在你需要沉积Co的一面。很多非金属电镀都是如此。

谢谢!
请问,如果Cu溅射在非沉积Co的一面,那么Co能不能沉积上啊?
4楼2009-06-08 12:50:05
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limin800111

金虫 (小有名气)

因此,我应该选择在Si片的背面溅射一层Cu来提高导电率了,那样可以排除Cu层对Co层的影响?
6楼2009-06-08 13:26:46
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