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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 【求助】该在Si片哪面镀导电的Cu膜？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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limin800111

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】该在Si片哪面镀导电的Cu膜？

我想利用Autolab电化学工作站在Si片“正面”镀Co

我有个问题想请问大家：
   在镀Co之前，首先要在Si片的一面磁控溅射一层Cu膜增加其导电性。这层Cu膜是在Si片的“正面”哪，还是在Si片的“反面”？

非常感谢！
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1楼 2009-06-05 16:13:11
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limin800111

金虫 (小有名气)
请大家帮忙
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2楼2009-06-08 11:20:06
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syj08448

银虫 (初入文坛)
★ ★ ★
limin800111(金币+2,VIP+0):非常感谢！ 6-8 12:48
limin800111(金币+1,VIP+0):谢谢！ 6-8 19:32
当然Cu要预先沉积在你需要沉积Co的一面。很多非金属电镀都是如此。
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3楼2009-06-08 12:43:27
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limin800111

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by syj08448 at 2009-6-8 12:43:
当然Cu要预先沉积在你需要沉积Co的一面。很多非金属电镀都是如此。

谢谢！
请问，如果Cu溅射在非沉积Co的一面，那么Co能不能沉积上啊？
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4楼2009-06-08 12:50:05
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johnfeng08

银虫 (小有名气)
★ ★ ★
limin800111(金币+2,VIP+0):非常感谢！ 6-8 13:24
limin800111(金币+1,VIP+0):非常感谢！ 6-8 19:33
可以
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5楼2009-06-08 13:08:10
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limin800111

金虫 (小有名气)
因此，我应该选择在Si片的背面溅射一层Cu来提高导电率了，那样可以排除Cu层对Co层的影响？
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6楼2009-06-08 13:26:46
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huahua1211

木虫 (正式写手)
楼主，磁控溅射Cu是用什么仪器？
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7楼2009-06-08 15:59:43
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limin800111

金虫 (小有名气)
用磁控溅射设备
嘿嘿
huahua1211兄做电化学很厉害，请问Si片的反面溅射一层Cu膜增加导电性，然后就可以利用电化学工作站在Si片的正面电沉积Co层了吧？
我想直接在Si片表面电沉积Co，不想在Cu表面上电沉积Co
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8楼2009-06-08 16:07:49
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huahua1211

木虫 (正式写手)
★ ★
limin800111(金币+2,VIP+0):谢谢！ 6-8 16:45
晕，我电化学很差的，正处在学习中，不过你可以查下硅和金属的结合力，如果结合力不行的话估计沉不上去，电化学工作站不晓得你们那边的仪器好不好用，我在我们这边用工作站没有电流通过，后来改为稳压电源倒还好
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9楼2009-06-08 16:30:54
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limin800111

金虫 (小有名气)
磁控溅射上Cu膜之后，用恒电流方式电沉积Co，如果电流密度绝对值太大，Cu膜脱落；太小电沉积的Co颜色不均匀（肉眼可见，不知道Co沉积上了没有，呵呵）

另外，考虑Cu膜的存在对Co膜可能不好，因此考虑在反面制备Cu膜增加导电，在正面电沉积Co

用的是Autolab，感觉还行

[ Last edited by limin800111 on 2009-6-8 at 16:45 ]
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10楼2009-06-08 16:44:29
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