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limin800111

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】该在Si片哪面镀导电的Cu膜?

我想利用Autolab电化学工作站在Si片“正面”镀Co

我有个问题想请问大家:
   在镀Co之前,首先要在Si片的一面磁控溅射一层Cu膜增加其导电性。这层Cu膜是在Si片的“正面”哪,还是在Si片的“反面”?

非常感谢!
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limin800111

金虫 (小有名气)

请大家帮忙
2楼2009-06-08 11:20:06
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syj08448

银虫 (初入文坛)

★ ★ ★
limin800111(金币+2,VIP+0):非常感谢! 6-8 12:48
limin800111(金币+1,VIP+0):谢谢! 6-8 19:32
当然Cu要预先沉积在你需要沉积Co的一面。很多非金属电镀都是如此。
3楼2009-06-08 12:43:27
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limin800111

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by syj08448 at 2009-6-8 12:43:
当然Cu要预先沉积在你需要沉积Co的一面。很多非金属电镀都是如此。

谢谢!
请问,如果Cu溅射在非沉积Co的一面,那么Co能不能沉积上啊?
4楼2009-06-08 12:50:05
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johnfeng08

银虫 (小有名气)

★ ★ ★
limin800111(金币+2,VIP+0):非常感谢! 6-8 13:24
limin800111(金币+1,VIP+0):非常感谢! 6-8 19:33
可以
5楼2009-06-08 13:08:10
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limin800111

金虫 (小有名气)

因此,我应该选择在Si片的背面溅射一层Cu来提高导电率了,那样可以排除Cu层对Co层的影响?
6楼2009-06-08 13:26:46
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huahua1211

木虫 (正式写手)

楼主,磁控溅射Cu是用什么仪器
7楼2009-06-08 15:59:43
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limin800111

金虫 (小有名气)

用磁控溅射设备
嘿嘿
huahua1211兄做电化学很厉害,请问Si片的反面溅射一层Cu膜增加导电性,然后就可以利用电化学工作站在Si片的正面电沉积Co层了吧?
我想直接在Si片表面电沉积Co,不想在Cu表面上电沉积Co
8楼2009-06-08 16:07:49
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huahua1211

木虫 (正式写手)

★ ★
limin800111(金币+2,VIP+0):谢谢! 6-8 16:45
晕,我电化学很差的,正处在学习中,不过你可以查下硅和金属的结合力,如果结合力不行的话估计沉不上去,电化学工作站不晓得你们那边的仪器好不好用,我在我们这边用工作站没有电流通过,后来改为稳压电源倒还好
9楼2009-06-08 16:30:54
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limin800111

金虫 (小有名气)

磁控溅射上Cu膜之后,用恒电流方式电沉积Co,如果电流密度绝对值太大,Cu膜脱落;太小电沉积的Co颜色不均匀(肉眼可见,不知道Co沉积上了没有,呵呵)

另外,考虑Cu膜的存在对Co膜可能不好,因此考虑在反面制备Cu膜增加导电,在正面电沉积Co

用的是Autolab,感觉还行

[ Last edited by limin800111 on 2009-6-8 at 16:45 ]
10楼2009-06-08 16:44:29
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