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xiangshu123

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】求助哪里做SiC薄膜

求助,请问江苏地区哪里可以做SiC薄膜?时间非常紧急,如果知道请给予帮助,万分感谢!苏州大学和江苏大学我已经联系过,无法做。请问其他地方哪里可以低温制备SiC薄膜,不管是用化学还是物理沉积的方法。
如果知道可否告知单位名称还有管理设备的老师名字,谢谢!
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king36500

至尊木虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★ ★ ★
xiangshu123(金币+5,VIP+0):太远了,来不及去做了,时间很紧急,谢谢! 6-4 12:51
ufoer(金币+1,VIP+0):3q 6-9 11:58
中国科学院金属研究所有做的。你可以和他们联系联系。周延春老师现在做Max相陶瓷膜,张志东老师也做一些讨吃膜。
[img]http://www.discuz.net/images/logo.gif[/img]
4楼2009-06-04 12:25:43
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xiangshu123

金虫 (小有名气)

因为时间很急,江苏地区的我随时可以赶过去,这样可以赶上下周出去测试的时间,谢谢了!如果知道的请留个言。
2楼2009-06-04 11:35:59
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liuke009

铁杆木虫 (著名写手)

★ ★ ★ ★ ★ ★
xiangshu123(金币+5,VIP+0):谢谢,查了中国期刊网,好像没有发表过关于制备碳化硅薄膜的文章。 6-4 12:05
ufoer(金币+1,VIP+0):3q 6-9 11:58
看一下东南、南大、南理工的网页,看看有没有实验室有这方面的设备
3楼2009-06-04 11:51:05
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gaochao808

金虫 (小有名气)


闪闪红心(金币+0,VIP+0): 6-4 17:32
闪闪红心(金币+1,VIP+0):补上,不好意思 6-4 17:32
低温制备纯的SiC膜几乎是不可实现的。低温制备(比如磁控溅射)基本是非晶态,即使加偏压或者制备后高温处理,都是包含SiC,C,Si的混合相,不知楼主要做哪方面性能?
5楼2009-06-04 17:25:25
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