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xshahahaha木虫 (正式写手)
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请问用磁控溅射镀1~5nm的金薄膜需要怎样调参数？大佬们请帮帮我。 已有1人参与
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| 如题，我想镀连续的超薄金薄膜。请问真空度，样品台高度，直流电源功率等参数怎么设置呢？ |
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