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xshahahaha

木虫 (正式写手)

[求助] 请问用磁控溅射镀1~5nm的金薄膜需要怎样调参数?大佬们请帮帮我。已有1人参与

如题,我想镀连续的超薄金薄膜。请问真空度,样品台高度,直流电源功率等参数怎么设置呢?
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就这样吧!
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xshahahaha

木虫 (正式写手)

有磁控溅射的大神么
就这样吧!
4楼2019-09-08 12:21:26
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bobo201266

金虫 (正式写手)

镀金和别的金属差不多的啊?还要看你具体设备的。

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2楼2019-09-08 10:38:42
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xshahahaha

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-09-08 05:38:42
镀金和别的金属差不多的啊?还要看你具体设备的。

就是实验室用的小型的磁控溅射机。我刚开始学这个设备的操作。
就这样吧!
3楼2019-09-08 10:50:29
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bobo201266

金虫 (正式写手)

你看下设备说明,一般都会有的。

发自小木虫Android客户端
5楼2019-09-09 09:12:57
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