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s3311036新虫 (小有名气)
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[交流]
光刻出现问题，请教下大家
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材料，石英玻璃。 AZ5214。 菲林板最小缝隙20um 工艺: 4000rpm 60s 80度 2min 反转烘80度 4min 显影 70s 过水60s 出现问题： 直的缝隙变成弯的，再不就不出现缝隙。          发自小木虫Android客户端 |
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