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s3311036

新虫 (小有名气)

[交流] 光刻出现问题,请教下大家

材料,石英玻璃。  AZ5214。    菲林板最小缝隙20um
工艺:  4000rpm  60s      80度   2min    反转烘80度   4min    显影  70s    过水60s   
出现问题: 直的缝隙变成弯的,再不就不出现缝隙。

光刻出现问题,请教下大家


光刻出现问题,请教下大家-1


光刻出现问题,请教下大家-2


光刻出现问题,请教下大家-3


光刻出现问题,请教下大家-4


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光刻出现问题,请教下大家-7


光刻出现问题,请教下大家-8


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stellaintl

新虫 (小有名气)

4Pico激光直写致力于高精度的微纳米结构的加工
4楼2019-09-07 09:09:20
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