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s3311036

新虫 (小有名气)

[交流] 光刻出现问题,请教下大家

材料,石英玻璃。  AZ5214。    菲林板最小缝隙20um
工艺:  4000rpm  60s      80度   2min    反转烘80度   4min    显影  70s    过水60s   
出现问题: 直的缝隙变成弯的,再不就不出现缝隙。

光刻出现问题,请教下大家


光刻出现问题,请教下大家-1


光刻出现问题,请教下大家-2


光刻出现问题,请教下大家-3


光刻出现问题,请教下大家-4


光刻出现问题,请教下大家-5


光刻出现问题,请教下大家-6


光刻出现问题,请教下大家-7


光刻出现问题,请教下大家-8


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bobo201266

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
就不能出一块苏打版吗。。。。。又不贵

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2楼2019-09-06 23:00:05
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s3311036

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-09-06 23:00:05
就不能出一块苏打版吗。。。。。又不贵

什么是苏打板?  我知道菲林和铬板啊

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3楼2019-09-07 08:22:52
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stellaintl

新虫 (小有名气)

4Pico激光直写致力于高精度的微纳米结构的加工
4楼2019-09-07 09:09:20
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bobo201266

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by s3311036 at 2019-09-07 08:22:52
什么是苏打板?  我知道菲林和铬板啊
...

做块铬版

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5楼2019-09-07 09:10:07
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众志启成

金虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
菲林版30微米以下就很费劲,要做好这个工艺,不仅要换版,还有基底的前处理都要做好

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6楼2019-09-07 09:10:55
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s3311036

新虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 众志启成 at 2019-09-07 09:10:55
菲林版30微米以下就很费劲,要做好这个工艺,不仅要换版,还有基底的前处理都要做好

基底打了plasma

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7楼2019-09-07 18:23:45
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小孩儿0123

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
估计是胶和板之间的adhesion 不好,可适当降低转速或者升高bake 温度。
8楼2019-09-08 19:01:10
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9楼2019-09-08 20:33:50
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10楼2019-09-09 11:57:01
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