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【请教】请教一个磁控溅射的问题
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大家好 我在磁控溅射镀TiN膜时发现，在调好电流以后，随着时间的增加，放电电压逐渐降低 气压也慢慢减小，虽然幅度不大 但是导致参数不稳定 请教哪位大侠知道原因，告知一下小弟，是否跟温度升高有关呢？ |
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xiongbijun
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5楼2009-08-07 16:18:32
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2楼2009-08-07 12:03:00
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3楼2009-08-07 13:05:40
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4楼2009-08-07 14:50:45
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