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【请教】请教一个磁控溅射的问题
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大家好 我在磁控溅射镀TiN膜时发现,在调好电流以后,随着时间的增加,放电电压逐渐降低 气压也慢慢减小,虽然幅度不大 但是导致参数不稳定 请教哪位大侠知道原因,告知一下小弟,是否跟温度升高有关呢? |
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chenfire
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3楼2009-08-07 13:05:40
yjyang07
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2楼2009-08-07 12:03:00
郭立强
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4楼2009-08-07 14:50:45
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5楼2009-08-07 16:18:32













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