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ge123

新虫 (小有名气)

[求助] 溶胶凝胶旋涂法制膜,退火后膜表面出现大量裂纹 已有1人参与

我最近在用溶胶凝胶旋涂法制氧化物薄膜,热解采用快去热解炉,热解完膜较好,退火也采用快速热解炉,但是退火完膜表面出现大量明显的裂纹,请问哪位大神能给出个解决办法吗?

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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水,利万物而不争


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
退火温度适当低一些。速度慢一些。
2楼2019-08-20 09:36:39
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