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溶胶凝胶旋涂法制膜,退火后膜表面出现大量裂纹 已有1人参与
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我最近在用溶胶凝胶旋涂法制氧化物薄膜,热解采用快去热解炉,热解完膜较好,退火也采用快速热解炉,但是退火完膜表面出现大量明显的裂纹,请问哪位大神能给出个解决办法吗? 发自小木虫Android客户端 |
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木虫之王 (文坛精英)
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