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溶胶凝胶旋涂法制膜，退火后膜表面出现大量裂纹 已有1人参与
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我最近在用溶胶凝胶旋涂法制氧化物薄膜，热解采用快去热解炉，热解完膜较好，退火也采用快速热解炉，但是退火完膜表面出现大量明显的裂纹，请问哪位大神能给出个解决办法吗？ 发自小木虫Android客户端 |
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木虫之王 (文坛精英)
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2楼2019-08-20 09:36:39