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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 制备成型 » 溶胶凝胶旋涂法制膜，退火后膜表面出现大量裂纹
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ge123

新虫 (小有名气)

[求助] 溶胶凝胶旋涂法制膜，退火后膜表面出现大量裂纹 已有1人参与

我最近在用溶胶凝胶旋涂法制氧化物薄膜，热解采用快去热解炉，热解完膜较好，退火也采用快速热解炉，但是退火完膜表面出现大量明显的裂纹，请问哪位大神能给出个解决办法吗？

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1楼 2019-08-20 08:25:27
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水，利万物而不争

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
退火温度适当低一些。速度慢一些。
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2楼2019-08-20 09:36:39
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