应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » HD4100 PI 负性光刻胶 残胶
51/1返回列表
查看: 4263  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

huanihaoma

银虫 (小有名气)

[求助] HD4100 PI 负性光刻胶 残胶 已有3人参与

本人采用HD4100负性光刻胶，为啥软烘不足，显影后会出现残胶，提高软烘温度，残胶就没有了，可以从原理方面解释吗？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

微纳尺度全分析

» 猜你喜欢
1楼 2019-07-15 06:40:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
前烘温度和时间决定了光刻胶中溶剂挥发的程度。
当前烘不足时，你的光刻胶中溶剂挥发不充分。对于负胶，你未曝光的部分仅仅发生了溶剂含量方面的改变，所以和化学放大没有任何关系。楼上原位的那位纯粹是瞎扯！
需要被显影的部分溶剂挥发不足，意味着显影液和原有溶剂在争夺光刻胶固溶物的时候发生了排斥，使得残胶出现。而如果原有溶剂和显影液是相容的，那么会出现曝光区域的暗蚀效应。
赞一下(3人) 回复此楼
5楼2019-07-16 14:51:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

原位代加工

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
温度不够，说明PI在显影液中没有化学放大到最佳状态。具体理论信息请百度。
赞一下 回复此楼
2楼2019-07-15 14:38:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gyxzby

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
额，光刻烘烤有Soft Bake ，PEB（Post Exposure Bake），还有HB（Hard Bake），我想问你说的Soft Bake真的是SoftBake还是搞混了？
赞一下 回复此楼
3楼2019-07-15 18:25:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bobo201266

金虫 (正式写手)
涂胶后的softbake,影响光刻胶内的溶剂含量。负胶的话，理论上不应该有残留。漏光或者反射光会导致特定区域的残留。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2019-07-15 18:37:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 售渎SCI文章，我:8⊙ 55 1⊙ 54。备注【⊙=0】 +3 ipys00zm58 2026-03-06 4/200 2026-03-06 16:55 by 7mzg0e04z2
[考研] 085600材料与化工，一志愿广州985，求调剂 +10 qqyyaill 2026-03-05 10/500 2026-03-06 15:58 by 聪明的大松鼠
[考博] 2026申博自荐 六级440电催化方向 +4 樱落成影花成双 2026-03-05 4/200 2026-03-06 07:57 by L135790
[考研] 080500材料科学与工程 +13 202114020319 2026-03-03 13/650 2026-03-06 00:29 by wutongshun
[考研] 材料学硕080500复试调剂294 +3 四叶zjz 2026-03-04 3/150 2026-03-05 07:09 by kunm555
[考研] 一志愿武汉理工大学-085602-总分296分-求调剂 +7 紫川葡柚 2026-03-04 7/350 2026-03-04 21:04 by kakakapanpan
[考研] 264求调剂 +8 26调剂 2026-03-03 8/400 2026-03-04 20:50 by 一切OK
[考研] 0703化学 一志愿东北大学 279分求调剂 +4 聂乐平 2026-03-03 4/200 2026-03-04 16:31 by zhukairuo
[考研] 一志愿中南大学理学化学 +6 15779376950 2026-03-01 8/400 2026-03-04 16:19 by zhukairuo
[考研] 347分电子信息专硕求调剂 +3 咕嘟咕嘟1 2026-03-03 3/150 2026-03-04 12:32 by 热情沙漠
[考研] 289求调剂 +8 yang婷 2026-03-02 10/500 2026-03-04 09:10 by 无际的草原
[考研] 293求调剂 +4 是乐渝哇 2026-03-03 4/200 2026-03-03 23:04 by zhukairuo
[考研] 306求调剂 +7 张张张张oo 2026-03-03 7/350 2026-03-03 21:35 by L135790
[考研] 292求调剂 +3 sgbl 2026-03-03 3/150 2026-03-03 17:30 by barlinike
[考研] 268求调剂 +10 简单点0 2026-03-02 14/700 2026-03-03 14:51 by pingping55
[考研] 291求调剂 +3 MuoLuo1312 2026-03-02 6/300 2026-03-03 12:13 by 热情沙漠
[论文投稿] 通讯作者写谁，问题是你意想不到的问题 15+3 阿尔法啊 2026-03-01 3/150 2026-03-03 09:13 by 北京莱茵润色
[考研] 295求调剂。一志愿报考郑州大学化学工艺学硕，总分295分 +8 yl1 2026-03-02 9/450 2026-03-02 21:21 by sunny81
[考研] 哈工大计算机刘劼团队招生 +4 hit_aiot 2026-03-01 6/300 2026-03-02 11:53 by 一声问好
[考研] 311求调剂 +6 亭亭亭01 2026-03-01 6/300 2026-03-01 15:41 by 324616
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭