应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » HD4100 PI 负性光刻胶 残胶
51/1返回列表
查看: 4256  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

huanihaoma

银虫 (小有名气)

[求助] HD4100 PI 负性光刻胶 残胶 已有3人参与

本人采用HD4100负性光刻胶，为啥软烘不足，显影后会出现残胶，提高软烘温度，残胶就没有了，可以从原理方面解释吗？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

微纳尺度全分析

» 猜你喜欢
1楼 2019-07-15 06:40:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bobo201266

金虫 (正式写手)
涂胶后的softbake,影响光刻胶内的溶剂含量。负胶的话，理论上不应该有残留。漏光或者反射光会导致特定区域的残留。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2019-07-15 18:37:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

原位代加工

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
温度不够，说明PI在显影液中没有化学放大到最佳状态。具体理论信息请百度。
赞一下 回复此楼
2楼2019-07-15 14:38:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gyxzby

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
额，光刻烘烤有Soft Bake ，PEB（Post Exposure Bake），还有HB（Hard Bake），我想问你说的Soft Bake真的是SoftBake还是搞混了？
赞一下 回复此楼
3楼2019-07-15 18:25:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
前烘温度和时间决定了光刻胶中溶剂挥发的程度。
当前烘不足时，你的光刻胶中溶剂挥发不充分。对于负胶，你未曝光的部分仅仅发生了溶剂含量方面的改变，所以和化学放大没有任何关系。楼上原位的那位纯粹是瞎扯！
需要被显影的部分溶剂挥发不足，意味着显影液和原有溶剂在争夺光刻胶固溶物的时候发生了排斥，使得残胶出现。而如果原有溶剂和显影液是相容的，那么会出现曝光区域的暗蚀效应。
赞一下(3人) 回复此楼
5楼2019-07-16 14:51:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0856材料求调剂 +15 hyf hyf hyf 2026-02-28 16/800 2026-03-04 22:12 by 学zh
[考研] 0856材料与化工，270求调剂 +16 YXCT 2026-03-01 18/900 2026-03-04 22:05 by 学zh
[考研] 中国科学技术大学材料与化工281求调剂，有科研和获奖经历 +10 wsxw 2026-03-02 11/550 2026-03-04 20:57 by hmn_wj
[考研] 282求调剂 +5 2103240126 2026-03-02 8/400 2026-03-04 17:29 by 妄深于海
[考研] 求调剂 +3 泡了个椒 2026-03-04 3/150 2026-03-04 15:36 by 每天只摆一小会
[考研] 一志愿西交大材料学硕 346 求调剂 +3 zju51 2026-03-04 3/150 2026-03-04 13:01 by zhukairuo
[考研] 289求调剂 +8 yang婷 2026-03-02 10/500 2026-03-04 09:10 by 无际的草原
[考研] 接收调剂 +15 津萌津萌 2026-03-02 23/1150 2026-03-03 23:39 by 梦—-
[考研] 中国林科院林化所（南京）2026年招收化学/材料/环境工程等背景硕士研究生3名 +3 realstar2006 2026-02-27 3/150 2026-03-03 21:39 by AC.
[考研] 306求调剂 +7 张张张张oo 2026-03-03 7/350 2026-03-03 21:35 by L135790
[考研] 化工专硕调剂 +4 利好利好. 2026-03-03 7/350 2026-03-03 21:30 by L135790
[考研] 276求调剂 +8 路lyh123 2026-02-28 10/500 2026-03-03 18:25 by xin吖
[考研] 江苏省农科院招调剂1名 +5 Qwertyuop 2026-03-01 5/250 2026-03-03 17:50 by 梅子鸭鸭
[考研] 化工专硕348，一志愿985求调剂 +8 弗格个 2026-02-28 11/550 2026-03-03 14:55 by relum
[考研] 284求调剂 +6 天下熯 2026-03-02 6/300 2026-03-03 13:46 by Iveryant
[考研] 338求调剂 +5 18162027187 2026-03-02 6/300 2026-03-03 07:52 by njzyff
[考研] 0856求调剂285 +11 吕仔龙 2026-02-28 11/550 2026-03-02 20:15 by hypershenger
[考研] 0856化工专硕求调剂 +15 董boxing 2026-03-01 15/750 2026-03-02 15:06 by 晃晃不许晃
[考研] 化工299分求调剂 一志愿985落榜 +5 嘻嘻(*^ω^*) 2026-03-01 5/250 2026-03-01 19:47 by 无际的草原
[考研] 311求调剂 +6 亭亭亭01 2026-03-01 6/300 2026-03-01 15:41 by 324616
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭