应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » HD4100 PI 负性光刻胶 残胶
51/1返回列表
查看: 4268  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

huanihaoma

银虫 (小有名气)

[求助] HD4100 PI 负性光刻胶 残胶 已有3人参与

本人采用HD4100负性光刻胶，为啥软烘不足，显影后会出现残胶，提高软烘温度，残胶就没有了，可以从原理方面解释吗？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

微纳尺度全分析

» 猜你喜欢
1楼 2019-07-15 06:40:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

原位代加工

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
温度不够，说明PI在显影液中没有化学放大到最佳状态。具体理论信息请百度。
赞一下 回复此楼
2楼2019-07-15 14:38:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gyxzby

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
额，光刻烘烤有Soft Bake ，PEB（Post Exposure Bake），还有HB（Hard Bake），我想问你说的Soft Bake真的是SoftBake还是搞混了？
赞一下 回复此楼
3楼2019-07-15 18:25:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bobo201266

金虫 (正式写手)
涂胶后的softbake,影响光刻胶内的溶剂含量。负胶的话，理论上不应该有残留。漏光或者反射光会导致特定区域的残留。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2019-07-15 18:37:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
前烘温度和时间决定了光刻胶中溶剂挥发的程度。
当前烘不足时，你的光刻胶中溶剂挥发不充分。对于负胶，你未曝光的部分仅仅发生了溶剂含量方面的改变，所以和化学放大没有任何关系。楼上原位的那位纯粹是瞎扯！
需要被显影的部分溶剂挥发不足，意味着显影液和原有溶剂在争夺光刻胶固溶物的时候发生了排斥，使得残胶出现。而如果原有溶剂和显影液是相容的，那么会出现曝光区域的暗蚀效应。
赞一下(3人) 回复此楼
5楼2019-07-16 14:51:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 huanihaoma 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料专硕调剂 +5 慕辰123 2026-03-05 8/400 2026-03-07 15:54 by xuesongli73
[考研] 288求调剂085600材料与化工 +7 Daunrin 2026-03-07 8/400 2026-03-07 15:50 by xuesongli73
[考研] 求调剂 +4 呼呼？~+123456 2026-03-05 5/250 2026-03-06 23:15 by L135790
[考研] 材料调剂 +5 ounce. 2026-03-05 13/650 2026-03-06 20:34 by Eember.
[考研] 290分材料工程085601求调剂 数二英一 +9 llx0610 2026-03-02 10/500 2026-03-06 16:24 by @飒飒飒飒
[考研] 22408-273求调剂-担任3个项目的负责人-1篇国际期刊论文（一作）1篇核心期刊论文在投。 +3 没想好取什么名 2026-03-03 3/150 2026-03-05 08:38 by Destiny688
[考研] 316求调剂 +3 林小星发大财 2026-03-04 3/150 2026-03-05 07:49 by bxbo
[考研] 286 +6 ksncj 2026-03-04 6/300 2026-03-04 20:49 by lature00
[考研] 325求调剂 +5 学家科 2026-03-04 5/250 2026-03-04 14:04 by kakakapanpan
[考研] 一志愿西交大材料学硕 346 求调剂 +3 zju51 2026-03-04 3/150 2026-03-04 13:01 by zhukairuo
[考研] 331求调剂 +3 zzZ&zZ 2026-03-03 3/150 2026-03-04 10:37 by aaa显卡批发王总
[考研] 环境工程学硕288求助调剂 +7 多吃亿口芝士 2026-03-02 7/350 2026-03-03 23:00 by zhukairuo
[考研] 306求调剂 +7 张张张张oo 2026-03-03 7/350 2026-03-03 21:35 by L135790
[考研] 江苏省农科院招调剂1名 +5 Qwertyuop 2026-03-01 5/250 2026-03-03 17:50 by 梅子鸭鸭
[考研] 278求调剂 +3 满天星11_22 2026-03-02 3/150 2026-03-03 13:51 by Iveryant
[考研] 材料工程专硕283求调剂 5+8 ，！？ 2026-03-02 10/500 2026-03-03 12:01 by EBSD
[考研] 271求调剂 +4 Ricardo1113 2026-03-02 4/200 2026-03-03 08:00 by 无际的草原
[考研] 306分材料调剂 +5 chuanzhu川烛 2026-03-01 6/300 2026-03-02 19:51 by 张晓芳0105
[考研] 一志愿山东大学材料与化工325求调剂 +5 半截的诗0927 2026-03-02 5/250 2026-03-02 18:37 by 明亮9527
[考研] 291分工科求调剂 +9 science饿饿 2026-03-01 10/500 2026-03-01 18:55 by 18137688336
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭