应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » HD4100 PI 负性光刻胶 残胶
51/1返回列表
查看: 4269  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

huanihaoma

银虫 (小有名气)

[求助] HD4100 PI 负性光刻胶 残胶 已有3人参与

本人采用HD4100负性光刻胶，为啥软烘不足，显影后会出现残胶，提高软烘温度，残胶就没有了，可以从原理方面解释吗？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

微纳尺度全分析

» 猜你喜欢
1楼 2019-07-15 06:40:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

原位代加工

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
温度不够，说明PI在显影液中没有化学放大到最佳状态。具体理论信息请百度。
赞一下 回复此楼
2楼2019-07-15 14:38:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gyxzby

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
额，光刻烘烤有Soft Bake ，PEB（Post Exposure Bake），还有HB（Hard Bake），我想问你说的Soft Bake真的是SoftBake还是搞混了？
赞一下 回复此楼
3楼2019-07-15 18:25:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bobo201266

金虫 (正式写手)
涂胶后的softbake,影响光刻胶内的溶剂含量。负胶的话，理论上不应该有残留。漏光或者反射光会导致特定区域的残留。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2019-07-15 18:37:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
前烘温度和时间决定了光刻胶中溶剂挥发的程度。
当前烘不足时，你的光刻胶中溶剂挥发不充分。对于负胶，你未曝光的部分仅仅发生了溶剂含量方面的改变，所以和化学放大没有任何关系。楼上原位的那位纯粹是瞎扯！
需要被显影的部分溶剂挥发不足，意味着显影液和原有溶剂在争夺光刻胶固溶物的时候发生了排斥，使得残胶出现。而如果原有溶剂和显影液是相容的，那么会出现曝光区域的暗蚀效应。
赞一下(3人) 回复此楼
5楼2019-07-16 14:51:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 huanihaoma 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料调剂 +7 ounce. 2026-03-05 15/750 2026-03-08 09:39 by wangjihu
[考研] A区一本交叉课题组，低分调剂，招收机械电子信息通信等交叉方向 +42 lisimayy 2026-03-04 55/2750 2026-03-08 07:56 by 一定上岸嘿嘿314
[考研] 一志愿苏大材料工程专硕293求调剂 +4 钢铁大炮 2026-03-04 4/200 2026-03-07 23:16 by ms629
[考研] 求调剂 +4 呼呼？~+123456 2026-03-06 4/200 2026-03-06 23:11 by L135790
[考研] 289求调剂 +3 驰光绝景 2026-03-04 4/200 2026-03-06 12:34 by 驰光绝景
[考研] 求调剂 +5 danyyyy 2026-03-04 5/250 2026-03-06 08:16 by Leeding1356
[考研] 332材料求调剂 +6 zjy101327 2026-03-05 7/350 2026-03-06 00:18 by wutongshun
[考研] 282求调剂 +7 夕～日 2026-03-05 8/400 2026-03-05 21:31 by zzpnuli111
[考研] 347求调剂 +6 啊欧欧欧 2026-03-03 8/400 2026-03-05 11:40 by 0202liuyan
[考研] 302材料工程求调剂 +7 Doleres 2026-03-01 8/400 2026-03-05 09:59 by oxidpl
[考研] 0856材料专硕274能调剂去哪里？ +3 22735 2026-03-04 4/200 2026-03-05 09:06 by 斩魂滴兔子！
[考研] 调剂材料学硕 +6 词凝Y 2026-03-02 6/300 2026-03-05 07:10 by 昆工985
[考研] 286 +6 ksncj 2026-03-04 6/300 2026-03-04 20:49 by lature00
[考研] 一志愿314求调剂 +7 202111120625 2026-03-03 7/350 2026-03-04 15:56 by zhukairuo
[考研] 298求调剂 +3 人间唯你是清欢 2026-03-03 4/200 2026-03-03 18:09 by ms629
[考研] 求调剂 +4 Guo_yuxuan 2026-03-02 5/250 2026-03-03 14:39 by xiaomc_gzh
[考研] 278求调剂 +3 满天星11_22 2026-03-02 3/150 2026-03-03 13:51 by Iveryant
[考研] 275求调剂 +7 明远求学 2026-03-01 7/350 2026-03-02 19:22 by zhukairuo
[考研] 材料085601调剂 +5 多多子. 2026-03-02 5/250 2026-03-02 19:15 by zhukairuo
[考研] 化工299分求调剂 一志愿985落榜 +5 嘻嘻(*^ω^*) 2026-03-01 5/250 2026-03-01 19:47 by 无际的草原
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭