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学渣gogo

新虫 (小有名气)

[交流] 离子术辅助沉积氧化铝的离子原子到达比

求助!想问下影响离子术辅助沉积中离子原子到达比的因素有哪些??
我查了一些文献,只查到了离子原子到达比对薄膜的影响。并没有提到如何影响的离子原子到达比。或者你们有没有推荐的文献。(???︿???)

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学渣gogo

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 时光 at 2019-05-18 11:01:58
我做过这个,跟溅射产额有关

能具体说一下嘛?有没有相关文献呐~

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3楼2019-05-18 12:58:39
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时光

铁杆木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我做过这个,跟溅射产额有关

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是金子总要发光
2楼2019-05-18 11:01:58
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gaoxd1610

新虫 (正式写手)

4楼2019-06-27 20:06:07
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