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离子术辅助沉积氧化铝的离子原子到达比
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求助！想问下影响离子术辅助沉积中离子原子到达比的因素有哪些？？ 我查了一些文献，只查到了离子原子到达比对薄膜的影响。并没有提到如何影响的离子原子到达比。或者你们有没有推荐的文献。(???︿???) 发自小木虫IOS客户端 |
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