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离子术辅助沉积氧化铝的离子原子到达比
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求助!想问下影响离子术辅助沉积中离子原子到达比的因素有哪些?? 我查了一些文献,只查到了离子原子到达比对薄膜的影响。并没有提到如何影响的离子原子到达比。或者你们有没有推荐的文献。(???︿???) 发自小木虫IOS客户端 |
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2楼2019-05-18 11:01:58
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