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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 请教，低压化学气相沉积是如何一边保持低压一边通气的？
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iiverson

新虫 (初入文坛)

[求助] 请教，低压化学气相沉积是如何一边保持低压一边通气的？

最近想用低压气相沉积的方法沉积硅膜，我看网上都是用真空泵抽真空保持低压，可是一边抽真空一边通气怎么能保持低压呢？而且也流量也控制不了呀。

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1楼 2019-05-08 19:57:11
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laozheng66

新虫 (正式写手)
我是搞真空的，控制非常容易实现。只要真空泵的抽速和气体供给达到平衡就能维持稳定真空度。这个平衡通过控制气体流量计的大小和抽速的快慢来实现。

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氨基化镀膜技术，超亲水超疏水技术
4楼2019-05-10 09:15:21
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iiverson

新虫 (初入文坛)


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2楼2019-05-08 22:37:56
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我是林溪

至尊木虫 (职业作家)
有的真空泵可以设定真空度啊，如果只有真空泵的话，需要加一个真空缓冲罐，再加阀门，真空表等，自己手动调解阀门大小控制真空度。进气也一样，加阀门调解，气瓶上面不是有气体流量计么？保持稳定低压比较难，只能自己慢慢试着调了。也不知道说得对不对，说错了还请见谅。

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我不是林溪，我也不叫林溪，就这样！
3楼2019-05-09 16:22:14
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