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请教,低压化学气相沉积是如何一边保持低压一边通气的?
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最近想用低压气相沉积的方法沉积硅膜,我看网上都是用真空泵抽真空保持低压,可是一边抽真空一边通气怎么能保持低压呢?而且也流量也控制不了呀。 发自小木虫IOS客户端 |
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laozheng66
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- 专业: 计算机硬件技术
有的真空泵可以设定真空度啊,如果只有真空泵的话,需要加一个真空缓冲罐,再加阀门,真空表等,自己手动调解阀门大小控制真空度。进气也一样,加阀门调解,气瓶上面不是有气体流量计么?保持稳定低压比较难,只能自己慢慢试着调了。也不知道说得对不对,说错了还请见谅 。发自小木虫Android客户端 |

3楼2019-05-09 16:22:14













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