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请教，低压化学气相沉积是如何一边保持低压一边通气的？
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最近想用低压气相沉积的方法沉积硅膜，我看网上都是用真空泵抽真空保持低压，可是一边抽真空一边通气怎么能保持低压呢？而且也流量也控制不了呀。 发自小木虫IOS客户端 |
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laozheng66
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有的真空泵可以设定真空度啊，如果只有真空泵的话，需要加一个真空缓冲罐，再加阀门，真空表等，自己手动调解阀门大小控制真空度。进气也一样，加阀门调解，气瓶上面不是有气体流量计么？保持稳定低压比较难，只能自己慢慢试着调了。也不知道说得对不对，说错了还请见谅 。发自小木虫Android客户端 |
3楼2019-05-09 16:22:14
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