| 查看: 836 | 回复: 3 | ||
[求助]
请教，低压化学气相沉积是如何一边保持低压一边通气的？
|
|
最近想用低压气相沉积的方法沉积硅膜，我看网上都是用真空泵抽真空保持低压，可是一边抽真空一边通气怎么能保持低压呢？而且也流量也控制不了呀。 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
N2O分解催化
已经有1人回复
-
石墨电极生产缺陷成因及工艺优化控制技术研究
已经有0人回复
-
物理化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有127人回复
-
长春工业大学诚招化学专业博士研究生（长期有效）
已经有0人回复
-
三维电极体系催化极板应用优势，大幅提升废水处理容积负荷
已经有0人回复
-
中山大学微纳光电器件课题组招聘2027博士/博士后
已经有19人回复
-
西华大学-化学、生物与医药-研究生招生信息-欢迎报考
已经有0人回复
-
中山大学微纳光电器件课题组招聘2027博士/博士后
已经有59人回复
-
中科院东莞材料所｜新能源材料研究部招聘研究员 / 副研究员（可中央事业编制）
已经有0人回复
-
复合催化电极在高盐难降解废水电催化体系中的工程应用研究
已经有1人回复
2楼2019-05-08 22:37:56
我是林溪
至尊木虫 (职业作家)
- 应助: 15 (小学生)
- 金币: 11509.6
- 散金: 100
- 红花: 47
- 沙发: 147
- 帖子: 4004
- 在线: 921.2小时
- 虫号: 2399879
- 注册: 2013-04-04
- 专业: 计算机硬件技术
有的真空泵可以设定真空度啊，如果只有真空泵的话，需要加一个真空缓冲罐，再加阀门，真空表等，自己手动调解阀门大小控制真空度。进气也一样，加阀门调解，气瓶上面不是有气体流量计么？保持稳定低压比较难，只能自己慢慢试着调了。也不知道说得对不对，说错了还请见谅 。发自小木虫Android客户端 |
3楼2019-05-09 16:22:14
laozheng66
新虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1394.9
- 红花: 5
- 帖子: 352
- 在线: 15.5小时
- 虫号: 15060291
- 注册: 2019-05-09
- 性别: GG
- 专业: 固体力学
4楼2019-05-10 09:15:21