| 查看: 861 | 回复: 3 | ||
[求助]
请教，低压化学气相沉积是如何一边保持低压一边通气的？
|
|
最近想用低压气相沉积的方法沉积硅膜，我看网上都是用真空泵抽真空保持低压，可是一边抽真空一边通气怎么能保持低压呢？而且也流量也控制不了呀。 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
pH 对石墨催化极板反应选择性的影响：从自由基生成到副反应转向
已经有0人回复
-
D-S 充氢实验交流
已经有0人回复
-
物理化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有69人回复
-
【招聘】荷兰格罗宁根大学CSC公派博士生，材料/高分子/化学相关背景
已经有20人回复
-
【招聘】荷兰格罗宁根大学CSC公派博士生，材料/高分子/化学相关背景
已经有5人回复
-
申请27博士
已经有0人回复
-
27申博，硕士阶段研究的COF
已经有0人回复
-
27博士申请自荐-硕士阶段研究方向COF
已经有0人回复
-
27博士申请自荐-材料/器件类
已经有0人回复
-
27博士申请自荐-材料/化学/物理/器件
已经有0人回复
-
压裂返排液现场水质快速检测：不用送检也能判断水质走向
已经有0人回复
2楼2019-05-08 22:37:56
我是林溪
至尊木虫 (职业作家)
- 应助: 15 (小学生)
- 金币: 11509.6
- 散金: 100
- 红花: 47
- 沙发: 147
- 帖子: 4004
- 在线: 921.2小时
- 虫号: 2399879
- 注册: 2013-04-04
- 专业: 计算机硬件技术
有的真空泵可以设定真空度啊，如果只有真空泵的话，需要加一个真空缓冲罐，再加阀门，真空表等，自己手动调解阀门大小控制真空度。进气也一样，加阀门调解，气瓶上面不是有气体流量计么？保持稳定低压比较难，只能自己慢慢试着调了。也不知道说得对不对，说错了还请见谅 。发自小木虫Android客户端 |
3楼2019-05-09 16:22:14
laozheng66
新虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1394.9
- 红花: 5
- 帖子: 352
- 在线: 15.5小时
- 虫号: 15060291
- 注册: 2019-05-09
- 性别: GG
- 专业: 固体力学
4楼2019-05-10 09:15:21
50