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iiverson

新虫 (初入文坛)

[求助] 请教,低压化学气相沉积是如何一边保持低压一边通气的?

最近想用低压气相沉积的方法沉积硅膜,我看网上都是用真空泵抽真空保持低压,可是一边抽真空一边通气怎么能保持低压呢?而且也流量也控制不了呀。

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我是林溪

至尊木虫 (职业作家)

有的真空泵可以设定真空度啊,如果只有真空泵的话,需要加一个真空缓冲罐,再加阀门,真空表等,自己手动调解阀门大小控制真空度。进气也一样,加阀门调解,气瓶上面不是有气体流量计么?保持稳定低压比较难,只能自己慢慢试着调了。也不知道说得对不对,说错了还请见谅

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我不是林溪,我也不叫林溪,就这样!
3楼2019-05-09 16:22:14
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iiverson

新虫 (初入文坛)

2楼2019-05-08 22:37:56
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laozheng66

新虫 (正式写手)

我是搞真空的,控制非常容易实现。只要真空泵的抽速和气体供给达到平衡就能维持稳定真空度。这个平衡通过控制气体流量计的大小和抽速的快慢来实现。

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氨基化镀膜技术,超亲水超疏水技术
4楼2019-05-10 09:15:21
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