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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 薄膜厚度测试
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physics123

银虫 (小有名气)

[求助] 薄膜厚度测试 已有1人参与

求助大神，测试磁控溅射镀层的厚度，用什么方式在材料表面做掩膜制备台阶，用于台阶仪检测测试膜厚？

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1楼 2019-04-24 08:13:17
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459769617

金虫 (正式写手)
很简单，用两片小陶瓷片分开盖在上面，用夹子固定挂进去镀，被陶瓷片遮住的地方没镀上，没遮住的镀上了，不就形成台阶了吗？我们以前就是这样做的

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让绝对无敌的传说能永远不会被打破，必须要战斗！！！
4楼2019-05-08 23:43:58
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

一般在溅射样品的时候，在衬底表面一个不重要的地方贴一个高温胶带。溅射完了以后，撕掉胶带测厚度。
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2楼2019-04-30 17:24:43
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physics123

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2019-04-30 17:24:43
一般在溅射样品的时候，在衬底表面一个不重要的地方贴一个高温胶带。溅射完了以后，撕掉胶带测厚度。

高温胶带用哪种呢？推荐一款吧？多谢！

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3楼2019-05-06 15:35:56
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