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physics123

银虫 (小有名气)

[求助] 薄膜厚度测试已有1人参与

求助大神,测试磁控溅射镀层的厚度,用什么方式在材料表面做掩膜制备台阶,用于台阶仪检测测试膜厚?

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physics123

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2019-04-30 17:24:43
一般在溅射样品的时候,在衬底表面一个不重要的地方贴一个高温胶带。溅射完了以后,撕掉胶带测厚度。

高温胶带用哪种呢?推荐一款吧?多谢!

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3楼2019-05-06 15:35:56
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