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physics123

银虫 (小有名气)

[求助] 薄膜厚度测试已有1人参与

求助大神,测试磁控溅射镀层的厚度,用什么方式在材料表面做掩膜制备台阶,用于台阶仪检测测试膜厚?

发自小木虫Android客户端
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

一般在溅射样品的时候,在衬底表面一个不重要的地方贴一个高温胶带。溅射完了以后,撕掉胶带测厚度。
2楼2019-04-30 17:24:43
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