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qiyonglian1985

新虫 (初入文坛)

[交流] 求助:玻璃基板侧面金属沉积或溅射;孔内金属沉积 设备 已有3人参与

大家好,请问想在玻璃基板的侧面进行金属沉积,厚度大概1~2um,有什么设备可以实现吗?
比如对向靶材或者旋转蒸镀?有哪家的设备可以推荐?
另外在100um,深度500um的孔内沉积金属,有什么好的方法?
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)


4楼2019-04-23 18:08:28
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专家倒

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
时间有要求吗,要是没要求可以用ALD,他各种形状都能长,就是慢

发自小木虫Android客户端
生命在于折腾
2楼2019-04-23 14:26:48
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qiyonglian1985

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 专家倒 at 2019-04-23 14:26:48
时间有要求吗,要是没要求可以用ALD,他各种形状都能长,就是慢

ALD有些慢,膜厚有1um,有较快速度镀膜的推荐吗?
健康的身体,愉快的心情,积极的生活,每天都能这么活
3楼2019-04-23 16:03:28
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
深孔沉积肯定是PVD,也就是溅射。溅射完了,需要增厚用电镀。
玻璃基板侧壁也是同样的道理,如果是工业生产就直接一次性沉积了,不用电镀。
你要做TGV?可以把需求发到研材微纳的技术邮箱。
如果是自己要买设备做,建议直接找最专业的设备厂商谈,并且做试样。
5楼2019-04-30 17:07:49
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