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求助:玻璃基板侧面金属沉积或溅射;孔内金属沉积 设备 已有3人参与
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大家好,请问想在玻璃基板的侧面进行金属沉积,厚度大概1~2um,有什么设备可以实现吗? 比如对向靶材或者旋转蒸镀?有哪家的设备可以推荐? 另外在100um,深度500um的孔内沉积金属,有什么好的方法? |
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