| 查看: 686 | 回复: 4 | |||
qiyonglian1985新虫 (初入文坛)
|
[交流]
求助:玻璃基板侧面金属沉积或溅射;孔内金属沉积 设备已有3人参与
|
|
大家好,请问想在玻璃基板的侧面进行金属沉积,厚度大概1~2um,有什么设备可以实现吗? 比如对向靶材或者旋转蒸镀?有哪家的设备可以推荐? 另外在100um,深度500um的孔内沉积金属,有什么好的方法? |


2楼2019-04-23 14:26:48
qiyonglian1985
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 275.4
- 帖子: 40
- 在线: 28小时
- 虫号: 487349
- 注册: 2007-12-28
- 性别: MM
- 专业: 资源化工

3楼2019-04-23 16:03:28
4楼2019-04-23 18:08:28
yswyx
专家顾问 (著名写手)
-

专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
5楼2019-04-30 17:07:49













回复此楼