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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 求助：玻璃基板侧面金属沉积或溅射；孔内金属沉积 设备
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qiyonglian1985

新虫 (初入文坛)

[交流] 求助：玻璃基板侧面金属沉积或溅射；孔内金属沉积 设备 已有3人参与

大家好，请问想在玻璃基板的侧面进行金属沉积，厚度大概1~2um，有什么设备可以实现吗？
比如对向靶材或者旋转蒸镀？有哪家的设备可以推荐？
另外在100um，深度500um的孔内沉积金属，有什么好的方法？
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健康的身体，愉快的心情，积极的生活，每天都能这么活
1楼 2019-04-23 14:08:14
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专家倒

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
时间有要求吗，要是没要求可以用ALD，他各种形状都能长，就是慢

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生命在于折腾
2楼2019-04-23 14:26:48
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qiyonglian1985

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 专家倒 at 2019-04-23 14:26:48
时间有要求吗，要是没要求可以用ALD，他各种形状都能长，就是慢

ALD有些慢，膜厚有1um，有较快速度镀膜的推荐吗？
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健康的身体，愉快的心情，积极的生活，每天都能这么活
3楼2019-04-23 16:03:28
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)
我这边可以

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4楼2019-04-23 18:08:28
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
深孔沉积肯定是PVD，也就是溅射。溅射完了，需要增厚用电镀。
玻璃基板侧壁也是同样的道理，如果是工业生产就直接一次性沉积了，不用电镀。
你要做TGV？可以把需求发到研材微纳的技术邮箱。
如果是自己要买设备做，建议直接找最专业的设备厂商谈，并且做试样。
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5楼2019-04-30 17:07:49
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