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求AZO导电玻璃刻蚀方法 已有1人参与
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最近要在AZO导电玻璃上刻蚀10微米线宽的图案，急求刻蚀方法，干法湿法都行，反应离子刻蚀的气体是什么呢？湿法的话溶液配比如何？求指教，多谢！ 发自小木虫Android客户端 |
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6楼2019-09-04 21:00:47
2楼2019-05-11 17:23:30
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
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- 性别: GG
- 专业: 光学
，10um还好吧，可以尝试下，湿法腐蚀比较有难度 干法好些 3楼2019-06-10 12:48:05
4楼2019-06-19 15:49:32
10