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浮尘Zi

新虫 (小有名气)

[求助] 求AZO导电玻璃刻蚀方法 已有1人参与

最近要在AZO导电玻璃上刻蚀10微米线宽的图案,急求刻蚀方法,干法湿法都行,反应离子刻蚀的气体是什么呢?湿法的话溶液配比如何?求指教,多谢!

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搞科研-搞科研-搞科研
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武汉元祿光电

新虫 (小有名气)

用飞秒激光刻蚀可以做到10微米线宽图案
4楼2019-06-19 15:49:32
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寒风有点冷

新虫 (初入文坛)

2楼2019-05-11 17:23:30
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

我帮你刻蚀吧,10um还好吧,可以尝试下,湿法腐蚀比较有难度 干法好些
3楼2019-06-10 12:48:05
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众志启成

金虫 (正式写手)


可以试试用等离子体刻蚀干法刻蚀

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5楼2019-07-02 18:11:36
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