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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求AZO导电玻璃刻蚀方法
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浮尘Zi

新虫 (小有名气)

[求助] 求AZO导电玻璃刻蚀方法 已有1人参与

最近要在AZO导电玻璃上刻蚀10微米线宽的图案，急求刻蚀方法，干法湿法都行，反应离子刻蚀的气体是什么呢？湿法的话溶液配比如何？求指教，多谢！

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搞科研-搞科研-搞科研
1楼 2019-04-23 09:17:12
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寒风有点冷

新虫 (初入文坛)
回收AZO残靶，私我

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2楼2019-05-11 17:23:30
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

我帮你刻蚀吧，10um还好吧，可以尝试下，湿法腐蚀比较有难度 干法好些
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3楼2019-06-10 12:48:05
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武汉元祿光电

新虫 (小有名气)
用飞秒激光刻蚀可以做到10微米线宽图案
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4楼2019-06-19 15:49:32
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众志启成

金虫 (正式写手)
可以试试用等离子体刻蚀干法刻蚀

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5楼2019-07-02 18:11:36
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ps141120

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by babyoflion at 2019-06-10 12:48:05
我帮你刻蚀吧，10um还好吧，可以尝试下，湿法腐蚀比较有难度 干法好些

我求
，624998545

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6楼2019-09-04 21:00:47
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