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硬质皮蛋新虫 (小有名气)
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[求助]
分子泵提示过流保护
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做镀膜，抽真空完事儿后，通氩气流量是60，真空度从10-4上涨到了10左右pa，分子泵发出故障提示：过流保护，问下同行，是什么原因导致的呢？是不是因为氩气流量过大？ @comma @comma 发自小木虫Android客户端 |
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