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硬质皮蛋

新虫 (小有名气)

[求助] 分子泵提示过流保护

做镀膜,抽真空完事儿后,通氩气流量是60,真空度从10-4上涨到了10左右pa,分子泵发出故障提示:过流保护,问下同行,是什么原因导致的呢?是不是因为氩气流量过大?

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lqllinqiaoli

至尊木虫 (著名写手)

超过20Pa,分子泵就坏掉了

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2楼2019-04-09 16:01:50
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L小懒虫

木虫 (著名写手)

10pa时真空度太低,单位体积分子数太多,分子泵中刷子的阻力,摩擦较大,所以出现保护。60sccm的流量不大,考虑下其他因素

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3楼2019-04-10 06:30:26
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