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硬质皮蛋新虫 (小有名气)
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分子泵提示过流保护
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做镀膜,抽真空完事儿后,通氩气流量是60,真空度从10-4上涨到了10左右pa,分子泵发出故障提示:过流保护,问下同行,是什么原因导致的呢?是不是因为氩气流量过大? @comma @comma 发自小木虫Android客户端 |
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