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圣埃蒂安M

铜虫 (小有名气)

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[求助] 磁控溅射镀增透膜已有2人参与

近期一直做磁控溅射在玻璃上镀增透膜，材料mgf2、sio2，可是增透效果低于玻璃，感觉像是在做遮光板并无增透效果，查阅各个文献无果，只能求助神通广大的木虫，希望大家给点建议。

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1楼 2019-04-04 17:23:58

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tangtang0427

木虫 (正式写手)

君子和而不同

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【答案】应助回帖

引用回帖:

9楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2019-04-09 15:39:18
首先你得懂得增透的原理。
单层膜增透很关键的就是薄膜的厚度以及薄膜的折射率。
厚度需要精控这是首要的，我想你这边问题应该不大。
折射率这块就很关键了，因为磁控溅射做的膜很容易折射率不达标。
Mgf2磁控 ...

Mgf2一般是蒸发镀膜
其次，你需要先做单层，将你的磁控溅射镀膜Mgf2的折射率与消光系数求解出来，可以用包络法或者直接上椭偏仪。
再次，Mgf2的折射率跟SiO2以及玻璃的太接近，需要镀很多层才有好的效果，建议使用Mgf2和Ta2O5（或者Ti2O5），从导纳图解可以看出来，高低折射率的落差要大一点