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圣埃蒂安M

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀增透膜 已有2人参与

近期一直做磁控溅射在玻璃上镀增透膜，材料mgf2、sio2，可是增透效果低于玻璃，感觉像是在做遮光板并无增透效果，查阅各个文献无果，只能求助神通广大的木虫，希望大家给点建议。
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1楼 2019-04-04 17:23:58
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lwloveflxgg

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
2楼2019-04-04 21:29:26
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cz20727

木虫 (著名写手)
这个比较成熟的吧，主要要控制好镀层的折射率和厚度，应该还是很容易的

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3楼2019-04-05 08:53:54
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圣埃蒂安M

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lwloveflxgg at 2019-04-04 21:29:26
增透的原理是光的衍射，可以根据布拉格公式和镀层的折射率计算需要的厚度，注:只能对某狭窄波段进行增透，不能全波段增透。

理论方面的工作都做了，膜厚、折射率也控制了，确实不能增透，想请教一下以前做过类似工作的人，到底如何磁控溅射才能增透。。。
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4楼2019-04-06 18:16:34
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圣埃蒂安M

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by cz20727 at 2019-04-05 08:53:54
这个比较成熟的吧，主要要控制好镀层的折射率和厚度，应该还是很容易的

确实比较成熟，按道理说应该比较好做，做出来的样品，也是测了厚度和折射率，确实不能增透，找不到原因。石英玻璃基底透过率达到93%，
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5楼2019-04-06 18:21:02
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圣埃蒂安M

铜虫 (小有名气)
现阶段只是做的宽波段单层增透膜，软件模拟厚度再镀膜，效果无增透。
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6楼2019-04-06 18:48:06
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

磁控溅射MgF2 ？ 用的靶材是MgF2么？射频溅射？
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
7楼2019-04-08 09:36:46
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圣埃蒂安M

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2019-04-08 09:36:46
磁控溅射MgF2 ？ 用的靶材是MgF2么？射频溅射？

是的，
磁控溅射MgF2 ，用的是MgF2靶材
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8楼2019-04-08 21:18:50
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
圣埃蒂安M: 金币+10, ★★★很有帮助 2019-04-10 08:49:49
首先你得懂得增透的原理。
单层膜增透很关键的就是薄膜的厚度以及薄膜的折射率。
厚度需要精控这是首要的，我想你这边问题应该不大。
折射率这块就很关键了，因为磁控溅射做的膜很容易折射率不达标。
Mgf2磁控溅射，沉积的原子配备不是1:2，F很容易缺失，造成折射率差理想值很多。一般采用蒸发的方式。
SiO2沉积过程也是，一定要通入一定的氧气进行补偿。如果你有测折射率，就知道其中的偏差值。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
9楼2019-04-09 15:39:18
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圣埃蒂安M

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2019-04-09 15:39:18
首先你得懂得增透的原理。
单层膜增透很关键的就是薄膜的厚度以及薄膜的折射率。
厚度需要精控这是首要的，我想你这边问题应该不大。
折射率这块就很关键了，因为磁控溅射做的膜很容易折射率不达标。
Mgf2磁控 ...

感谢，那我先去测一下Mgf2折射率,F缺失应该用什么方法呢？
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10楼2019-04-10 08:49:31
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