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圣埃蒂安M

铜虫 (小有名气)

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专业: 无机非金属类光电信息与功

[求助] 磁控溅射镀增透膜已有2人参与

近期一直做磁控溅射在玻璃上镀增透膜，材料mgf2、sio2，可是增透效果低于玻璃，感觉像是在做遮光板并无增透效果，查阅各个文献无果，只能求助神通广大的木虫，希望大家给点建议。

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1楼 2019-04-04 17:23:58

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野人禾禾

金虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
圣埃蒂安M: 金币+10, ★★★很有帮助 2019-04-10 08:49:49

首先你得懂得增透的原理。
单层膜增透很关键的就是薄膜的厚度以及薄膜的折射率。
厚度需要精控这是首要的，我想你这边问题应该不大。
折射率这块就很关键了，因为磁控溅射做的膜很容易折射率不达标。
Mgf2磁控溅射，沉积的原子配备不是1:2，F很容易缺失，造成折射率差理想值很多。一般采用蒸发的方式。
SiO2沉积过程也是，一定要通入一定的氧气进行补偿。如果你有测折射率，就知道其中的偏差值。