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【请教】xrr方法测薄膜厚度
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| 从文献中知道x射线反射可测薄膜厚度和粗糙度,想问下平时2theta扫描用的xrd(型号:D8 Advance)能不能做xrr。做过类似测量的虫虫解答下,一般扫到2°需多长时间,误差20nm就行 |
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simoncheng
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