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zhuzhen

木虫 (正式写手)

[交流] 【请教】xrr方法测薄膜厚度

从文献中知道x射线反射可测薄膜厚度和粗糙度,想问下平时2theta扫描用的xrd(型号:D8 Advance)能不能做xrr。做过类似测量的虫虫解答下,一般扫到2°需多长时间,误差20nm就行
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simoncheng

银虫 (小有名气)

同问 很感兴趣
2楼2009-05-15 20:03:09
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liuhaifeng7758

木虫 (正式写手)

金玉其中


paopaomeng(金币+1,VIP+0):谢谢交流 5-19 18:30
关键看有没有相关的附件,比如我们用的是荷兰帕纳科的机子,陪着有平行光准直器以及相应的接受系统,可以测试薄膜的厚度等信息,如果你的薄膜质量好,基片平、膜平的话,精度可达零点几纳米。做一个样品的时间不是很长,包括前面的光路调试可能也只需要不到半小时时间
3楼2009-05-19 08:05:51
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jlsdwlxsc

铁杆木虫 (职业作家)


paopaomeng(金币+1,VIP+0):谢谢交流 7-30 17:04
你可以采用X射线掠入射的方法,测出一个振荡峰谱,然后根据光学中的等厚干涉原理,针对两个相邻的峰位差来进行计算薄膜厚度,具体的步骤可以查阅相关的文献。
4楼2009-06-07 12:25:08
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iphyaries

铁杆木虫 (小有名气)

关键是有没有Gobel Mirror

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
paopaomeng(金币+1,VIP+0):谢谢交流 7-30 17:04
粉末衍射都是聚焦光,做XRR需要平行光,要加一个Gobel Mirror(多层膜反射镜),将聚焦光转换成平行光
Ineedlearnmore...
5楼2009-07-30 14:59:29
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