应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】光刻时光源的光强可以远大于光刻胶标定的光强吗？
51/1返回列表
查看: 912  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

昆西昆0v0

新虫 (初入文坛)

[求助] 【求助】光刻时光源的光强可以远大于光刻胶标定的光强吗？ 已有1人参与

使用的是n244光刻胶，用自制的紫光灯光刻（这次的光刻对精度没有太高的要求，有大致的外形就行了）。我估算了一下紫光灯的光强大概是n244说明书上标定光强的七到八倍左右。请问用这样的紫光灯光刻，光刻之后还能显影吗？

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2019-03-28 16:33:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

昆西昆0v0

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2019-04-01 15:04:38
你测量的光强是mW/cm2，是强度，不是剂量。
而光刻胶说明书上的一般只写剂量，没有光强要求。
而光刻的时间是剂量/光强。
卖你光刻胶的人不教你怎么用吗？建议选择有技术支持的地方买，比如研材微纳，不要找贸易 ...

灯是紫外led灯，灯光的波长是按光刻胶说明书上来的。使用胶片作为掩模。我想知道如果过曝了会怎样？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
3楼2019-04-02 16:08:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 4 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

你测量的光强是mW/cm2，是强度，不是剂量。
而光刻胶说明书上的一般只写剂量，没有光强要求。
而光刻的时间是剂量/光强。
卖你光刻胶的人不教你怎么用吗？建议选择有技术支持的地方买，比如研材微纳，不要找贸易商。
而且你的紫外灯是什么等，汞灯还是石英灯，你测量的光是哪个波长的？这些都和计算你的曝光时间有关。如果自己不会做，也可以找研材微纳代工。
包括用胶片曝光还是用掩模版，差别也很大。可以私信我你的联系方式，我让专业的技术人员教你。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2019-04-01 15:04:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

众志启成

金虫 (正式写手)
过曝情况图形会不正常，正胶图形的胶会没有了，负胶会有胶留在基底上，但图形应该也会不理想

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2019-06-16 16:44:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 4 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿山东大学105500药学专硕，总分302求调剂 +4 五维天空 2026-03-04 8/400 2026-03-06 13:15 by 五维天空
[考研] 一志愿华中科技大学，化学专业344分，求调剂 +7 邢xing1 2026-03-02 7/350 2026-03-06 09:14 by guoweigw
[考研] 材料专硕290求调剂 +7 杰尼龟aaa 2026-03-04 7/350 2026-03-06 08:29 by 斩魂滴兔子！
[考研] 求调剂 +5 danyyyy 2026-03-04 5/250 2026-03-06 08:16 by Leeding1356
[考研] 332材料求调剂 +6 zjy101327 2026-03-05 7/350 2026-03-06 00:18 by wutongshun
[考研] 085600材料调剂 总分330 +5 池池丶 2026-03-03 5/250 2026-03-05 09:41 by oxidpl
[考研] 化学 0703求调剂 总分293 一志愿211 +9 土土小虫 2026-03-03 11/550 2026-03-05 09:26 by vfdbghn
[考研] 316求调剂 +3 林小星发大财 2026-03-04 3/150 2026-03-05 07:49 by bxbo
[考研] 环境调剂 +7 柒槿levana 2026-03-01 7/350 2026-03-04 22:00 by gwjxiaolang
[考研] 307求调剂 +4 xuyuan111 2026-03-04 5/250 2026-03-04 20:39 by kakakapanpan
[考研] 环境工程学硕288求助调剂 +7 多吃亿口芝士 2026-03-02 7/350 2026-03-03 23:00 by zhukairuo
[考研] 0703化学306调剂 +4 26要上岸 2026-03-03 4/200 2026-03-03 20:08 by yoyohj0427
[考研] 计算机学硕 分数285求调剂 +4 glwshine 2026-03-02 5/250 2026-03-03 14:27 by king呀
[考研] 299求调剂 +5 kkcoco25 2026-03-02 9/450 2026-03-03 12:55 by 公瑾逍遥
[考研] 271求调剂 +4 Ricardo1113 2026-03-02 4/200 2026-03-03 08:00 by 无际的草原
[考研] 288求调剂 +3 少71.8 2026-03-02 5/250 2026-03-03 06:01 by tgxtgxtgx9
[考研] 285求调剂 +9 满头大汗的学生 2026-02-28 9/450 2026-03-02 20:29 by hypershenger
[考研] 291分工科求调剂 +9 science饿饿 2026-03-01 10/500 2026-03-01 18:55 by 18137688336
[考研] 寻找调剂 +4 LYidhsjabdj 2026-02-28 4/200 2026-03-01 10:56 by sunny81
[考研] 307求调剂 +4 73372112 2026-02-28 6/300 2026-03-01 00:04 by ll247
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭