24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
查看: 848  |  回复: 3

昆西昆0v0

新虫 (初入文坛)

[求助] 【求助】光刻时光源的光强可以远大于光刻胶标定的光强吗?已有1人参与

使用的是n244光刻胶,用自制的紫光灯光刻(这次的光刻对精度没有太高的要求,有大致的外形就行了)。我估算了一下紫光灯的光强大概是n244说明书上标定光强的七到八倍左右。请问用这样的紫光灯光刻,光刻之后还能显影吗?

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

你测量的光强是mW/cm2,是强度,不是剂量。
而光刻胶说明书上的一般只写剂量,没有光强要求。
而光刻的时间是剂量/光强。
卖你光刻胶的人不教你怎么用吗?建议选择有技术支持的地方买,比如研材微纳,不要找贸易商。
而且你的紫外灯是什么等,汞灯还是石英灯,你测量的光是哪个波长的?这些都和计算你的曝光时间有关。如果自己不会做,也可以找研材微纳代工。
包括用胶片曝光还是用掩模版,差别也很大。可以私信我你的联系方式,我让专业的技术人员教你。
2楼2019-04-01 15:04:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

昆西昆0v0

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2019-04-01 15:04:38
你测量的光强是mW/cm2,是强度,不是剂量。
而光刻胶说明书上的一般只写剂量,没有光强要求。
而光刻的时间是剂量/光强。
卖你光刻胶的人不教你怎么用吗?建议选择有技术支持的地方买,比如研材微纳,不要找贸易 ...

灯是紫外led灯,灯光的波长是按光刻胶说明书上来的。使用胶片作为掩模。我想知道如果过曝了会怎样?

发自小木虫Android客户端
3楼2019-04-02 16:08:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

众志启成

金虫 (正式写手)


过曝情况图形会不正常,正胶图形的胶会没有了,负胶会有胶留在基底上,但图形应该也会不理想

发自小木虫Android客户端
4楼2019-06-16 16:44:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 昆西昆0v0 的主题更新
信息提示
请填处理意见