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昆西昆0v0

新虫 (初入文坛)

[求助] 【求助】光刻时光源的光强可以远大于光刻胶标定的光强吗? 已有1人参与

使用的是n244光刻胶,用自制的紫光灯光刻(这次的光刻对精度没有太高的要求,有大致的外形就行了)。我估算了一下紫光灯的光强大概是n244说明书上标定光强的七到八倍左右。请问用这样的紫光灯光刻,光刻之后还能显影吗?

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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

你测量的光强是mW/cm2,是强度,不是剂量。
而光刻胶说明书上的一般只写剂量,没有光强要求。
而光刻的时间是剂量/光强。
卖你光刻胶的人不教你怎么用吗?建议选择有技术支持的地方买,比如研材微纳,不要找贸易商。
而且你的紫外灯是什么等,汞灯还是石英灯,你测量的光是哪个波长的?这些都和计算你的曝光时间有关。如果自己不会做,也可以找研材微纳代工。
包括用胶片曝光还是用掩模版,差别也很大。可以私信我你的联系方式,我让专业的技术人员教你。
2楼2019-04-01 15:04:38
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昆西昆0v0

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2019-04-01 15:04:38
你测量的光强是mW/cm2,是强度,不是剂量。
而光刻胶说明书上的一般只写剂量,没有光强要求。
而光刻的时间是剂量/光强。
卖你光刻胶的人不教你怎么用吗?建议选择有技术支持的地方买,比如研材微纳,不要找贸易 ...

灯是紫外led灯,灯光的波长是按光刻胶说明书上来的。使用胶片作为掩模。我想知道如果过曝了会怎样?

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3楼2019-04-02 16:08:17
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众志启成

金虫 (正式写手)


过曝情况图形会不正常,正胶图形的胶会没有了,负胶会有胶留在基底上,但图形应该也会不理想

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4楼2019-06-16 16:44:48
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