应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】光刻时光源的光强可以远大于光刻胶标定的光强吗？
41/1返回列表
查看: 923  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

昆西昆0v0

新虫 (初入文坛)

[求助] 【求助】光刻时光源的光强可以远大于光刻胶标定的光强吗？ 已有1人参与

使用的是n244光刻胶，用自制的紫光灯光刻（这次的光刻对精度没有太高的要求，有大致的外形就行了）。我估算了一下紫光灯的光强大概是n244说明书上标定光强的七到八倍左右。请问用这样的紫光灯光刻，光刻之后还能显影吗？

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2019-03-28 16:33:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

你测量的光强是mW/cm2，是强度，不是剂量。
而光刻胶说明书上的一般只写剂量，没有光强要求。
而光刻的时间是剂量/光强。
卖你光刻胶的人不教你怎么用吗？建议选择有技术支持的地方买，比如研材微纳，不要找贸易商。
而且你的紫外灯是什么等，汞灯还是石英灯，你测量的光是哪个波长的？这些都和计算你的曝光时间有关。如果自己不会做，也可以找研材微纳代工。
包括用胶片曝光还是用掩模版，差别也很大。可以私信我你的联系方式，我让专业的技术人员教你。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2019-04-01 15:04:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

昆西昆0v0

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2019-04-01 15:04:38
你测量的光强是mW/cm2，是强度，不是剂量。
而光刻胶说明书上的一般只写剂量，没有光强要求。
而光刻的时间是剂量/光强。
卖你光刻胶的人不教你怎么用吗？建议选择有技术支持的地方买，比如研材微纳，不要找贸易 ...

灯是紫外led灯，灯光的波长是按光刻胶说明书上来的。使用胶片作为掩模。我想知道如果过曝了会怎样？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
3楼2019-04-02 16:08:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

众志启成

金虫 (正式写手)
过曝情况图形会不正常，正胶图形的胶会没有了，负胶会有胶留在基底上，但图形应该也会不理想

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2019-06-16 16:44:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 昆西昆0v0 的主题更新
41/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 308 085701 四六级已过求调剂 +5 温乔乔乔乔 2026-03-12 8/400 2026-03-12 16:48 by 温乔乔乔乔
[基金申请] 面上和青基一样限30页不合理 +4 wowsunflower 2026-03-10 6/300 2026-03-12 15:59 by Equinoxhua
[考研] 求调剂 +5 18880831720 2026-03-11 5/250 2026-03-12 08:42 by 30660438
[考研] 0703化学一志愿211 总分320求调剂 +3 玛卡巴卡啊哈 2026-03-11 3/150 2026-03-11 22:25 by peike
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 7x4iz20zqa 2026-03-11 8/400 2026-03-11 19:32 by s9xj0iuolc
[考研] 一志愿安徽大学材料工程专硕313分，求调剂的学校 +7 Yu先生 2026-03-10 9/450 2026-03-11 16:46 by 2020015
[考研] 311求调剂 +3 牛乳糖的卡卡 2026-03-10 3/150 2026-03-10 16:19 by 球场大飞机
[考研] 求调剂！ +3 朔朔话 2026-03-09 3/150 2026-03-10 15:48 by houyaoxu
[考研] 0703化学调剂 +3 三dd. 2026-03-10 3/150 2026-03-10 15:45 by peike
[考博] 求材料读博院校 +9 yanglei131 2026-03-08 9/450 2026-03-10 11:54 by 天道酬勤2026686
[考研] 调剂的同学，走过路过，不要错过 +11 likeihood 2026-03-06 16/800 2026-03-10 11:38 by Djdjj12
[考研] 数二英二309分请求调剂 +3 dtdxzxx 2026-03-09 4/200 2026-03-09 19:56 by yuningshan
[考研] 0703求调剂 +10 c297914 2026-03-06 11/550 2026-03-09 18:37 by 30660438
[考研] 求0856调剂 +5 小力气珂珂 2026-03-08 5/250 2026-03-09 06:42 by houyaoxu
[考研] 考研求调剂，工科，总分304 +4 矮子不想长高了 2026-03-08 7/350 2026-03-08 22:21 by 小木虫tim
[考研] 调剂 +3 13853210211 2026-03-08 3/150 2026-03-08 19:34 by ms629
[考研] 288求调剂（0703）一志愿东北大学 +5 好好- 2026-03-07 5/250 2026-03-08 18:22 by zzpnuli111
[考研] 求调剂 +3 拾柒12。 2026-03-08 3/150 2026-03-08 17:33 by bingxueer79
[考研] 085701环境工程317分求调剂 +9 6汆尼9 2026-03-07 9/450 2026-03-08 06:41 by 刘兵
[考研] 08工科求调剂 +3 隆LLL 2026-03-06 4/200 2026-03-06 15:26 by 隆LLL
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭