应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】光刻时光源的光强可以远大于光刻胶标定的光强吗？
41/1返回列表
查看: 917  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

昆西昆0v0

新虫 (初入文坛)

[求助] 【求助】光刻时光源的光强可以远大于光刻胶标定的光强吗？ 已有1人参与

使用的是n244光刻胶，用自制的紫光灯光刻（这次的光刻对精度没有太高的要求，有大致的外形就行了）。我估算了一下紫光灯的光强大概是n244说明书上标定光强的七到八倍左右。请问用这样的紫光灯光刻，光刻之后还能显影吗？

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2019-03-28 16:33:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

你测量的光强是mW/cm2，是强度，不是剂量。
而光刻胶说明书上的一般只写剂量，没有光强要求。
而光刻的时间是剂量/光强。
卖你光刻胶的人不教你怎么用吗？建议选择有技术支持的地方买，比如研材微纳，不要找贸易商。
而且你的紫外灯是什么等，汞灯还是石英灯，你测量的光是哪个波长的？这些都和计算你的曝光时间有关。如果自己不会做，也可以找研材微纳代工。
包括用胶片曝光还是用掩模版，差别也很大。可以私信我你的联系方式，我让专业的技术人员教你。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2019-04-01 15:04:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

昆西昆0v0

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2019-04-01 15:04:38
你测量的光强是mW/cm2，是强度，不是剂量。
而光刻胶说明书上的一般只写剂量，没有光强要求。
而光刻的时间是剂量/光强。
卖你光刻胶的人不教你怎么用吗？建议选择有技术支持的地方买，比如研材微纳，不要找贸易 ...

灯是紫外led灯，灯光的波长是按光刻胶说明书上来的。使用胶片作为掩模。我想知道如果过曝了会怎样？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
3楼2019-04-02 16:08:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

众志启成

金虫 (正式写手)
过曝情况图形会不正常，正胶图形的胶会没有了，负胶会有胶留在基底上，但图形应该也会不理想

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2019-06-16 16:44:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 昆西昆0v0 的主题更新
41/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 324求调剂 +5 wxz2 2026-03-03 8/400 2026-03-06 17:04 by 情长不过时光
[考研] 085600材料与化工 298 调剂 +10 小西笑嘻嘻 2026-03-03 10/500 2026-03-06 16:14 by @飒飒飒飒
[考研] 085600材料与化工调剂 280分 +13 yyqqhh 2026-03-03 13/650 2026-03-06 11:29 by 2020015
[考研] 316求调剂 +3 林小星发大财 2026-03-05 5/250 2026-03-06 09:05 by Iveryant
[考博] 2026申博自荐 六级440电催化方向 +4 樱落成影花成双 2026-03-05 4/200 2026-03-06 07:57 by L135790
[考博] 申博 +3 添菜了哈 2026-03-04 5/250 2026-03-05 13:13 by 添菜了哈
[考研] 化学 0703求调剂 总分293 一志愿211 +9 土土小虫 2026-03-03 11/550 2026-03-05 09:26 by vfdbghn
[考研] 0703化学 学硕 理工科均可 不区分研究方向 总分279求调剂 +7 1一11 2026-03-03 7/350 2026-03-05 09:23 by xwxstudy
[考研] 0856材料专硕274能调剂去哪里？ +3 22735 2026-03-04 4/200 2026-03-05 09:06 by 斩魂滴兔子！
[考研] 307求调剂 +4 xuyuan111 2026-03-04 5/250 2026-03-04 20:39 by kakakapanpan
[考研] 267化工调剂求助 +5 聪少OZ 2026-03-04 5/250 2026-03-04 20:33 by kakakapanpan
[考研] 学硕材料275调剂 +9 路三三 2026-03-03 9/450 2026-03-04 17:02 by 梦天888
[考研] 0703化学求调剂 +3 将未有期 2026-03-04 3/150 2026-03-04 16:19 by sslc1985
[考研] 325求调剂 +5 学家科 2026-03-04 5/250 2026-03-04 14:04 by kakakapanpan
[考研] 271求调剂 +4 Ricardo1113 2026-03-02 4/200 2026-03-03 08:00 by 无际的草原
[考研] 化工京区271求调剂 +7 11ing 2026-03-02 7/350 2026-03-03 07:30 by 利好利好.
[考研] 求调剂 +7 repeatt?t 2026-02-28 7/350 2026-03-02 20:34 by hypershenger
[考研] 化工专硕342，一志愿大连理工大学，求调剂 +6 kyf化工 2026-02-28 7/350 2026-03-02 10:56 by 无际的草原
[考研] 291分工科求调剂 +9 science饿饿 2026-03-01 10/500 2026-03-01 18:55 by 18137688336
[考研] 0856材料求调剂 +4 麻辣鱿鱼 2026-02-28 4/200 2026-03-01 16:51 by caszguilin
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭