24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 952  |  回复: 3

昆西昆0v0

新虫 (初入文坛)

[求助] 【求助】光刻时光源的光强可以远大于光刻胶标定的光强吗? 已有1人参与

使用的是n244光刻胶,用自制的紫光灯光刻(这次的光刻对精度没有太高的要求,有大致的外形就行了)。我估算了一下紫光灯的光强大概是n244说明书上标定光强的七到八倍左右。请问用这样的紫光灯光刻,光刻之后还能显影吗?

发自小木虫Android客户端
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

你测量的光强是mW/cm2,是强度,不是剂量。
而光刻胶说明书上的一般只写剂量,没有光强要求。
而光刻的时间是剂量/光强。
卖你光刻胶的人不教你怎么用吗?建议选择有技术支持的地方买,比如研材微纳,不要找贸易商。
而且你的紫外灯是什么等,汞灯还是石英灯,你测量的光是哪个波长的?这些都和计算你的曝光时间有关。如果自己不会做,也可以找研材微纳代工。
包括用胶片曝光还是用掩模版,差别也很大。可以私信我你的联系方式,我让专业的技术人员教你。
2楼2019-04-01 15:04:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

昆西昆0v0

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2019-04-01 15:04:38
你测量的光强是mW/cm2,是强度,不是剂量。
而光刻胶说明书上的一般只写剂量,没有光强要求。
而光刻的时间是剂量/光强。
卖你光刻胶的人不教你怎么用吗?建议选择有技术支持的地方买,比如研材微纳,不要找贸易 ...

灯是紫外led灯,灯光的波长是按光刻胶说明书上来的。使用胶片作为掩模。我想知道如果过曝了会怎样?

发自小木虫Android客户端
3楼2019-04-02 16:08:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

众志启成

金虫 (正式写手)


过曝情况图形会不正常,正胶图形的胶会没有了,负胶会有胶留在基底上,但图形应该也会不理想

发自小木虫Android客户端
4楼2019-06-16 16:44:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 昆西昆0v0 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[论文投稿] 急需审稿人!!! +3 陆小果画大饼 2026-04-21 3/150 2026-04-21 23:54 by jzy_123456
[考博] 申博/考博 +4 啃面包的小书虫 2026-04-17 8/400 2026-04-21 16:26 by 啃面包的小书虫
[考研] 一志愿A区211,22408 321求调剂 +7 随心所欲☆ 2026-04-15 8/400 2026-04-21 08:22 by Equinoxhua
[考研] 295分求调剂 +6 ?要上岸? 2026-04-17 6/300 2026-04-21 08:18 by Equinoxhua
[考研] 一志愿中科大材料与化工,353分还有调剂学校吗 +11 否极泰来2026 2026-04-15 13/650 2026-04-20 22:31 by Equinoxhua
[考研] 085600材料与化工调剂 5+3 孜孜不倦2002 2026-04-19 6/300 2026-04-20 21:25 by babero
[考研] 337求调剂 +3 jyz04 2026-04-18 3/150 2026-04-20 12:24 by 研可安
[考博] 湖南大学刘巧玲课题组2026年第二批次博士研究生招生信息 +3 南风观火 2026-04-18 5/250 2026-04-20 10:13 by 南风观火
[考研] 求计算机方向调剂 +3 Toffee2 2026-04-16 6/300 2026-04-19 22:37 by ll叶
[考研] 294求调剂 +8 淡然654321 2026-04-17 9/450 2026-04-19 19:51 by Equinoxhua
[考研] 304求调剂 +8 castLight 2026-04-16 8/400 2026-04-19 17:14 by 中豫男
[考研] 求调剂 +10 小聂爱学习 2026-04-16 12/600 2026-04-19 16:51 by 中豫男
[考研] 求调剂 +6 苦命人。。。 2026-04-18 7/350 2026-04-19 16:27 by 中豫男
[考研] 294求调剂 +15 淡然654321 2026-04-15 15/750 2026-04-19 08:20 by cuisz
[考研] 0854求调剂 +23 门路摸摸 2026-04-15 27/1350 2026-04-19 01:59 by 烟雨流涯
[考研] 接受任何调剂 +6 也就是栗子 2026-04-17 7/350 2026-04-18 17:20 by 涵竹刘
[考研] 收到复试调剂但是去不了 +8 小蜗牛* 2026-04-16 8/400 2026-04-18 11:15 by zixin2025
[考研] 260求调剂 +4 Zyt1314520.. 2026-04-17 5/250 2026-04-18 08:28 by babysonlkd
[有机交流] 二苯甲酮酸类衍生物 50+3 小白爱主人 2026-04-17 6/300 2026-04-17 18:47 by kf2781974
[考研] 一志愿沪9,生物学326求调剂 +9 刘墨墨 2026-04-15 9/450 2026-04-16 17:14 by 崔崔崔cccc
信息提示
请填处理意见