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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】光刻时光源的光强可以远大于光刻胶标定的光强吗？
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昆西昆0v0

新虫 (初入文坛)

[求助] 【求助】光刻时光源的光强可以远大于光刻胶标定的光强吗？ 已有1人参与

使用的是n244光刻胶，用自制的紫光灯光刻（这次的光刻对精度没有太高的要求，有大致的外形就行了）。我估算了一下紫光灯的光强大概是n244说明书上标定光强的七到八倍左右。请问用这样的紫光灯光刻，光刻之后还能显影吗？

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1楼 2019-03-28 16:33:59
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

你测量的光强是mW/cm2，是强度，不是剂量。
而光刻胶说明书上的一般只写剂量，没有光强要求。
而光刻的时间是剂量/光强。
卖你光刻胶的人不教你怎么用吗？建议选择有技术支持的地方买，比如研材微纳，不要找贸易商。
而且你的紫外灯是什么等，汞灯还是石英灯，你测量的光是哪个波长的？这些都和计算你的曝光时间有关。如果自己不会做，也可以找研材微纳代工。
包括用胶片曝光还是用掩模版，差别也很大。可以私信我你的联系方式，我让专业的技术人员教你。
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2楼2019-04-01 15:04:38
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昆西昆0v0

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2019-04-01 15:04:38
你测量的光强是mW/cm2，是强度，不是剂量。
而光刻胶说明书上的一般只写剂量，没有光强要求。
而光刻的时间是剂量/光强。
卖你光刻胶的人不教你怎么用吗？建议选择有技术支持的地方买，比如研材微纳，不要找贸易 ...

灯是紫外led灯，灯光的波长是按光刻胶说明书上来的。使用胶片作为掩模。我想知道如果过曝了会怎样？

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3楼2019-04-02 16:08:17
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众志启成

金虫 (正式写手)
过曝情况图形会不正常，正胶图形的胶会没有了，负胶会有胶留在基底上，但图形应该也会不理想

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4楼2019-06-16 16:44:48
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